半导体制造工艺是电子技术的核心工艺,代表着电子业的最高科技,决定着电子业的风向。
了解其制造工艺,有助于ESD防护的认知。
ESD认证咨询培训刘长雄老师(微信电话13761878905)辅导过多家半导体制造企业,深入其工艺过程进行辅导,熟悉整个半导体制造过程的质量要点。在此仅以小功率晶体管为代表,进行芯片技术分享,希望能对您有所借鉴。希望中国的半导体芯片行业快点强大在起来,不被外国控制核心技术!
中国芯,助中兴!
PNP小功率晶体管制造的工艺流程为:
外延片——编批——擦片——前处理——一次氧化——QC检查(tox)——一次光刻——QC检查——前处理——基区CSD涂覆——CSD预淀积——后处理——QC检查(R□)——前处理——基区氧化扩散——QC检查(tox、R□)——二次光刻——QC检查——单结测试——前处理——POCl3预淀积——后处理(P液)——QC检查——前处理——发射区氧化——QC检查(tox)——前处理——发射区再扩散(R□)——前处理——铝下CVD——QC检查(tox、R□)——前处理——HCl氧化——前处理——氢气处理——三次光刻——QC检查——追扩散——双结测试——前处理——铝蒸发——QC检查(tAl)——四次光刻——QC检查——前处理——氮气合金——氮气烘焙——QC检查(ts)——五次光刻——QC检查——大片测试——中测——中测检查(——粘片——减薄——减薄后处理——检查——清洗——背面蒸发——贴膜——划片——检查——裂片——外观检查)——综合检查
芯片工序结束后,进行出厂检验,检验的项目有:1、圆片的正反面。2、抽测每批芯片的参数:如二极管:正向电流,反向漏电流,击穿电压如三极管:电流特性,击穿特性,饱和特性,HFE,ts等检查完毕后进入中转库后出厂。